3月15日，國家重點研發(fā)計劃“重大科學儀器設備開發(fā)”重點專項“微納結構動態(tài)特性測試儀”項目在天津啟動。該項目未來可實現(xiàn)對精密元器件“納米”級別的檢測，彌補人力識別檢測的不足，為天津先進制造業(yè)發(fā)展提供支撐。該項目共投資1448萬元，實施周期為3年。
“微納結構動態(tài)特性測試儀”項目由天地偉業(yè)技術有限公司牽頭，聯(lián)合清華大學、余姚舜宇智能光學技術有限公司、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所、天津大學等8家單位共同承擔。
科學儀器設備是科學研究和技術創(chuàng)新的基石，是經濟社會發(fā)展和國防安全的重要保障。但是目前，我國元器件測量依賴于進口儀器設備。因此，我國將“微納結構動態(tài)特性測試儀”項目列入“國家重點研發(fā)計劃”，支持國產化高精度儀器研究和產業(yè)化。而目前天津正在重點打造人工智能、新能源新材料、生物醫(yī)藥等重點高科技產業(yè)，尤其是微納制造領域具有一定優(yōu)勢。
“微納結構動態(tài)特性測試儀”項目主要針對微納結構與微機電系統(tǒng)(MEMS)器件動態(tài)特性測試的需求，突破高信噪比時空調制和自動調焦等關鍵技術，開發(fā)具有自主知識產權、質量穩(wěn)定可靠、核心部件國產化的微納結構動態(tài)特性測試儀，開發(fā)相關軟件和數(shù)據庫，實現(xiàn)微納結構與MEMS器件的振動頻率、模式模態(tài)等特性測量分析以及典型缺陷識別。
項目完成后，將打破國外公司的技術壟斷，實現(xiàn)高性能關鍵部件國產化及微結構動態(tài)特性測試產品系列化，并在航空航天和民品MEMS研發(fā)生產領域開展應用開發(fā)與示范，實現(xiàn)儀器工程化和產業(yè)化推廣。
根據統(tǒng)計，目前已有141個國家級重大科學儀器專項落在企業(yè)，就是要在中國形成一批有世界競爭力的儀器企業(yè)，為國內產業(yè)發(fā)展提供支撐力。
來源：中國儀表網
